芯源微：在手订单饱满 新工厂四季度投产

　　事件：根据公司2021 年半年度业绩预增公告，预计2021 年上半年营收超过3.2 亿元，基本达到去年全年水平。实现归母净利润3,100万元~4,000 万元，同比增长约399%~543%。扣非归母净利润为2,400万元~3,300 万元，同比增加约3839 万元~4739 万元。

　　国内涂胶显影设备稀缺供应商，加速受益国产化进程。公司是国内半导体设备稀缺供应商，产品涵盖光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机），技术实力强劲，承担多项国家重大专项，是国内唯一能提供中高端涂胶显影设备的企业。根据业绩预告及一季报数据，公司业绩在集成电路前道晶圆加工、后道先进封装、化合物、MEMS、LED 芯片制造等领域的收入均有较大增长；单看Q2，预计归母净利润约2450 万元~3350 万元，环比增长277%~415%。根据年报，公司产品在前道环节逐步验证应用，后道环节不断作为主流机型成功实现进口替代。随着国产替代进程不断加速和下游代工厂的需求增长驱动，公司具有高成长性。

　　在手订单饱满，新工厂四季度投产：公司设备订单充足。根据20年年报，公司前道涂胶显影设备已陆续获得上海华力、中芯绍兴、厦门士兰集科等多个客户的订单及应用；前道Spin Scrubber 清洗机设备已在中芯国际、上海华力、厦门士兰集科等多个客户处通过验证并获得国内多家Fab 厂商的批量重复订单；后道涂胶显影设备与单片式湿法设备，已经作为主流机型应用于台积电、长电科技、华天科技、通富微电等国内大厂。根据公告的投资者关系活动记录，沈阳高端项目（一期）将于今年Q4 部分投产，产能翻倍，有望进一步满足业务规模不断增长的需求。

　　积极开拓前道制造，定增项目持续扩充产能。根据VLSI，全球前道涂胶显影设备及单片式设备销售额整体呈增长态势，中国大区（含台湾地区）前道涂胶显影设备和前道单片式清洗设备的销售额2023 年将分别达到10.26 亿美元和8.26 亿美元。根据公告，公司于21 年6月拟募资10 亿元用于产能建设，扩张供货规模，积极开拓前道制造。

　　其中上海临港项目主要用于研发与生产前道ArF 光刻工艺涂胶显影机、浸没式光刻工艺涂胶显影机及单片式化学清洗机等高端半导体专用设备；沈阳高端晶圆处理设备项目(二期)主要研发前道I-line 与KrF光刻工艺涂胶显影机、前道Barc(抗反射层)涂胶机以及后道先进封装Bumping 制备工艺涂胶显影机。定增项目的产能扩充有望进一步增强核心技术水平，加速提升产品市占率。

　　投资建议：我们预计公司2021 年~2023 年收入分别为6.32 亿元、9.52 亿元、14.18 亿元，归母净利润分别为0.87 亿元、1.38 亿元、1.93 亿元，对应每股收益为1.03 元、1.64 元、2.29 元，给予“买入-A”投资评级。

　　风险提示：募投项目推迟的风险；国际形势出现变化风险；新产品研发与市场开拓不达预期的风险；半导体市场景气度变化风险。（安信证券）