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据媒体报道,中微半导体设备(上海)有限公司自主研制的5纳米等离子体刻蚀机最近经台积电验证,性能优良,将用于全球首条5纳米制程生产线。台积电计划明年进行5纳米制程试产,预计2020年量产。
刻蚀机是芯片制造的关键装备之一,曾是一些发达国家的出口管制产品,但随着我国技术突破,这种高端装备在出口管制名单上消失了。中微半导体是国内半导体行业首屈一指的、具有完全自主知识产权的民族品牌,此次其自主研制的5纳米等离子体刻蚀机,突破了“卡脖子”技术,让“上海制造”跻身刻蚀机国际第一梯队。业内认为,中微与泛林、应用材料、东京电子、日立4家美日企业一起,组成了国际第一梯队,为7纳米芯片生产线供应刻蚀机。已通过验证的国产5纳米刻蚀机,预计会获得比7纳米生产线更大的市场份额,相关公司有望受益。
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可立克:通过创投基金参股独角兽中微半导体。
四川双马:通过义乌和谐参股中微半导体。
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